다이아몬드 슬러리용 유성 분산제

제품명: DSF-293 &  DSF-287HV

진보

신제품, 수입대체품 개발 프로젝트

DSF-293은 LED 제조공정에 사용되는 사파이어(Sapphire) 웨이퍼의 표면을 Polishing 할 때 사용하는 Diamond Slurry용 유성유체로 Hydrocarbon계 Normal Paraffin을 주성분으로 한다. 3㎛ ~ 6㎛ Diamond 분말을 0.4% 분산시킨 Slurry를 표면에 기공(pore)이 있는 동(Cu)판에 분사하여 Diamond 분말이 기공에 들어가서 사파이어(Sapphire) 웨이퍼와 접해 있는 표면을 연마하며 Diamond 분말의 분산성과 cut rate (removal rate) 가 우수하다. 특히 DSF-287HV는 고점도의 분산유체로 Naphthene oil을 주성분으로 하며 Diamond의 분산성 및 Anti-Settling 효과가 우수하다

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Oil Based Dispersant for Diamond Slurry

사파이어는 알루미나(Al₂O₃)가 2050℃ 이상에서 단결정으로 성장된 결정체로 빛의 투과성이 가장 뛰어난 광학 특성, 세라믹 소재 중에서 금속과 비슷한 우수한 열전도, 저온 및 고온 안정성, 다이아몬드 다음으로 경도(Mohs 9)가 높은 우수한 기계적 성질로 반도체 회로기판, 반도체 장비 부품, 광학 및 레이저 부품 등에 적용하고 있으며, 특히 TV 및 조명용 LED(발광다이오드) 기판용 핵심 소재인 사파이어 웨이퍼는 수요량 급증으로 경쟁적으로 발달하고 있는 고성장 분야로 향후 가전수요 회복으로 LED TV 시장의 본격화와 일반 조명시장의 성장에 따른 수요가 증가할 것으로 전망된다.