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½ÅÁ¦Ç°, ¼öÀÔ´ëüǰ °³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ®

Áø   º¸: 054-336-3578    Fax: 054-332-3588   ¿¬±¸¼Ò: 010-9284-3578  

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Adhesive for Wafer Polishing

SPA-140Àº »çÆÄÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶½Ã »ç¿ëÇÏ´Â Á¢ÂøÁ¦·Î Lapping, Annealing °øÁ¤ ÈÄ Wafer Back Side¿¡ Á¢ÂøÁ¦¸¦ Spin ÄÚÆÃÇϰí 100¡ÉÀÇ ¿­Ç³À¸·Î °ÇÁ¶ÇÑ ´ÙÀ½ ¾Ë·ç¹Ì³ª Plate (Block)À§¿¡ ¿Ã·Á³õ°í 80¡É¿­·Î Á¢ÂøÇϰí 1Â÷ Diamond Slurry Polishing(DMP), 2Â÷ Colloidal Silica Polishing(CMP) °øÁ¤±îÁö Wafer°¡ ¾Ë·ç¹Ì³ª Plate·Î ºÎÅÍ ¶³¾îÁöÁö ¾ÊÀ¸¸ç, Polishing ¿Ï·á ÈÄ 100 ~ 120 ¡É¿¡¼­ WaferÀÇ Å»ÂøÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù.   SPA-140H´Â SPA-140º¸´Ù ¿¬È­Á¡ÀÌ ³ô°í Á¢Âø°­µµ°¡ °­Çϸç, °¡È¤ÇÑ Á¶°ÇÀÇ CMP°øÁ¤¿¡¼­µµ ¸¶Âû¿­¿¡ ÀÇÇÑ ¿þÀÌÆÛÀÇ ¹Ð¸² Çö»óÀÌ ¾øÀÌ ¿ì¼öÇÑ Á¢Âø·ÂÀ» ¹ßÈÖÇÑ´Ù¶ÇÇÑ, ³»¿­¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ Blue »ö»óÀ¸·Î 100¡É ÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ Á¶°Ç¿¡¼­µµ Å»»öµÇÁö ¾Ê¾Æ Baking ÈÄWaferÀÇ Edge±îÁö ½ºÇÉ ÄÚÆÃÀÌ Àß µÇ¾ú´ÂÁö À°¾ÈÀ¸·Î ½Äº°ÀÌ °¡´ÉÇÏ¿© ǰÁú°ü¸®¿¡ À¯¸®Çϴٱ׸®°í, Á¢ÂøÁ¦ÀÇ Á¡µµ°¡ ³·¾Æ Wafer¿¡ ½ºÇÉ ÄÚÆÃ½Ã Leveling ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ´Ù.      

Á¦Ç°¸í: SPA-140, SPA-140H

Ç× ¸ñ

±Ô °Ý

½ÃÇè¹æ¹ý

SPA-140

SPA-140H

ÁÖ¼ººÐ

Natural Resin

Natural Resin Ester

 

¿Ü°ü

Yellowish Liquid

Blue Viscous Liquid

À°¾È°Ë»ç

À¯È¿¼ººÐ (%)

40 ¡¾ 0.5

40 ¡¾ 0.5

For 3hr at 100¡É

Á¡µµ (cps at 20¡É)

4 ~ 8

5~10

ÁÖ)1

ºñÁß (at 20¡É)

0.87 ~0.89

0.87 ~0.89

Hydrometer

Fisher Scientific

»ê°¡ (mgKOH/g)

65 ~ 70

70~75

 

¿¬È­Á¡ (¡É)

75 ~ 80

85~90

Ring&Ball Method

¿ë¸Å

2-propanol(IPA)

2-propanol(IPA)

 

»çÆÄÀ̾î´Â ¾Ë·ç¹Ì³ª(Al2O3)°¡ 2050¡É À̻󿡼­ ´Ü°áÁ¤À¸·Î ¼ºÀåµÈ °áÁ¤Ã¼·Î ºûÀÇ Åõ°ú¼ºÀÌ °¡Àå ¶Ù¾î³­ ±¤ÇРƯ¼º, ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç Áß¿¡¼­ ±Ý¼Ó°ú ºñ½ÁÇÑ ¿ì¼öÇÑ ¿­Àüµµ, Àú¿Â ¹× °í¿Â ¾ÈÁ¤¼º, ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀ½À¸·Î °æµµ(Mohs 9)°¡ ³ôÀº ¿ì¼öÇÑ ±â°èÀû ¼ºÁú·Î ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î±âÆÇ, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÎǰ, ±¤ÇÐ ¹× ·¹ÀÌÀú ºÎǰ µî¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ TV ¹× Á¶¸í¿ë LED(¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå) ±âÆÇ¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ »çÆÄÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ´Â ¼ö¿ä·® ±ÞÁõÀ¸·Î °æÀïÀûÀ¸·Î ¹ß´ÞÇϰí ÀÖ´Â °í¼ºÀå ºÐ¾ß·Î ÇâÈÄ °¡Àü¼ö¿ä ȸº¹À¸·Î LED TV ½ÃÀåÀÇ º»°ÝÈ­¿Í ÀÏ¹Ý Á¶¸í½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå¿¡ µû¸¥ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.