¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶¿ë Á¢ÂøÁ¦ |
Áøº¸ |
½ÅÁ¦Ç°, ¼öÀÔ´ëüǰ °³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ® |
Áø º¸: 054-336-3578 Fax: 054-332-3588 ¿¬±¸¼Ò: 010-9284-3578 |
Adhesive for Wafer Polishing |
SPA-140Àº »çÆÄÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶½Ã »ç¿ëÇÏ´Â Á¢ÂøÁ¦·Î Lapping, Annealing °øÁ¤ ÈÄ Wafer Back Side¿¡ Á¢ÂøÁ¦¸¦ Spin ÄÚÆÃÇϰí 100¡ÉÀÇ ¿Ç³À¸·Î °ÇÁ¶ÇÑ ´ÙÀ½ ¾Ë·ç¹Ì³ª Plate (Block)À§¿¡ ¿Ã·Á³õ°í 80¡É¿·Î Á¢ÂøÇϰí 1Â÷ Diamond Slurry Polishing(DMP), 2Â÷ Colloidal Silica Polishing(CMP) °øÁ¤±îÁö Wafer°¡ ¾Ë·ç¹Ì³ª Plate·Î ºÎÅÍ ¶³¾îÁöÁö ¾ÊÀ¸¸ç, Polishing ¿Ï·á ÈÄ 100 ~ 120 ¡É¿¡¼ WaferÀÇ Å»ÂøÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù. SPA-140H´Â SPA-140º¸´Ù ¿¬ÈÁ¡ÀÌ ³ô°í Á¢Âø°µµ°¡ °Çϸç, °¡È¤ÇÑ Á¶°ÇÀÇ CMP°øÁ¤¿¡¼µµ ¸¶Âû¿¿¡ ÀÇÇÑ ¿þÀÌÆÛÀÇ ¹Ð¸² Çö»óÀÌ ¾øÀÌ ¿ì¼öÇÑ Á¢Âø·ÂÀ» ¹ßÈÖÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ, ³»¿¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ Blue »ö»óÀ¸·Î 100¡É ÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ Á¶°Ç¿¡¼µµ Å»»öµÇÁö ¾Ê¾Æ Baking ÈÄWaferÀÇ Edge±îÁö ½ºÇÉ ÄÚÆÃÀÌ Àß µÇ¾ú´ÂÁö À°¾ÈÀ¸·Î ½Äº°ÀÌ °¡´ÉÇÏ¿© ǰÁú°ü¸®¿¡ À¯¸®ÇÏ´Ù. ±×¸®°í, Á¢ÂøÁ¦ÀÇ Á¡µµ°¡ ³·¾Æ Wafer¿¡ ½ºÇÉ ÄÚÆÃ½Ã Leveling ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ´Ù. |
Á¦Ç°¸í: SPA-140, SPA-140H |
Ç× ¸ñ |
±Ô °Ý |
½ÃÇè¹æ¹ý |
|
SPA-140 |
SPA-140H |
||
ÁÖ¼ººÐ |
Natural Resin |
Natural Resin Ester |
|
¿Ü°ü |
Yellowish Liquid |
Blue Viscous Liquid |
À°¾È°Ë»ç |
À¯È¿¼ººÐ (%) |
40 ¡¾ 0.5 |
40 ¡¾ 0.5 |
For 3hr at 100¡É |
Á¡µµ (cps at 20¡É) |
4 ~ 8 |
5~10 |
ÁÖ)1 |
ºñÁß (at 20¡É) |
0.87 ~0.89 |
0.87 ~0.89 |
Hydrometer Fisher Scientific |
»ê°¡ (mgKOH/g) |
65 ~ 70 |
70~75 |
|
¿¬ÈÁ¡ (¡É) |
75 ~ 80 |
85~90 |
Ring&Ball Method |
¿ë¸Å |
2-propanol(IPA) |
2-propanol(IPA) |
|
»çÆÄÀ̾î´Â ¾Ë·ç¹Ì³ª(Al2O3)°¡ 2050¡É À̻󿡼 ´Ü°áÁ¤À¸·Î ¼ºÀåµÈ °áÁ¤Ã¼·Î ºûÀÇ Åõ°ú¼ºÀÌ °¡Àå ¶Ù¾î³ ±¤ÇРƯ¼º, ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç Áß¿¡¼ ±Ý¼Ó°ú ºñ½ÁÇÑ ¿ì¼öÇÑ ¿Àüµµ, Àú¿Â ¹× °í¿Â ¾ÈÁ¤¼º, ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀ½À¸·Î °æµµ(Mohs 9)°¡ ³ôÀº ¿ì¼öÇÑ ±â°èÀû ¼ºÁú·Î ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î±âÆÇ, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÎǰ, ±¤ÇÐ ¹× ·¹ÀÌÀú ºÎǰ µî¿¡ Àû¿ëÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ TV ¹× Á¶¸í¿ë LED(¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå) ±âÆÇ¿ë ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ »çÆÄÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ´Â ¼ö¿ä·® ±ÞÁõÀ¸·Î °æÀïÀûÀ¸·Î ¹ß´ÞÇϰí ÀÖ´Â °í¼ºÀå ºÐ¾ß·Î ÇâÈÄ °¡Àü¼ö¿ä ȸº¹À¸·Î LED TV ½ÃÀåÀÇ º»°ÝÈ¿Í ÀÏ¹Ý Á¶¸í½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå¿¡ µû¸¥ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. |