실리콘 양극 가공 유체

진보

신제품, 수입대체품 개발 프로젝트

SCF-728은 반도체 부품용 실리콘 양극(Cathode) 제조 시 Diamond Micro Drill로 0.45㎜ 정도의 구멍을 내고 0.05㎜는 산(acid)으로 에칭(etching)하여 0.5㎜ 구멍을 낼 때 Drill에서 발생하는 마찰열 감소를 위한 윤활 및 냉각작용, 미세분말의 단시간 배출을 위한 습윤 작용을 하는 수용성 가공유체로 아민류 및 카르복실산 아민염을 주성분으로 하며 윤활성, 습윤성, 극압성, 그리고 방청성이 우수하며 이온교환수로 5~10% 정도 희석하여 사용한다.

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Processing Fluid for Silicon Cathode

제품명: SCF-728

무기소재(실리콘, 석영, 사파이어, 갈륨/비소)절삭유체는 Wire Sawing 방식의 경우 SiC 슬러리의 적정한 점도유지, Wire 점착력, 상분리 및 압축침강 방지효과 그리고 윤활성 및 극압성이 우수해야 하며 소재의 종류 및 특성에 따라 여러 가지 종류가 있다.