¹é Æú¸®½Ì¿ë ½½·¯¸® |
½ÅÁ¦Ç°, ¼öÀÔ´ëüǰ °³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ® |
Áø º¸: 054-336-3578 Fax: 054-332-3588 ¿¬±¸¼Ò: 010-9284-3578 |
Wafer¸¦ laser sawingÇÏ¿© chipÀ» »ý»êÇÏ´Â Àü ´Ü°è °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â Á¦Ç°À¸·Î waferÀÇ µÎ²²°¡ µÎ²¨¿ì¸é laser·Î sawing ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇѰ谡 Àֱ⠶§¹®¿¡ patternÀÌ µÇ¾î ÀÖ´Â 300§ waferÀÇ µÞ¸éÀ» grinder·Î 1Â÷ 70~100§ µÉ ¶§±îÁö °¥¾Æ³»°í 2Â÷ Ç¥¸é roughness¸¦ 9űîÁö ÃÊÁ¤¹Ð °¡°øÇÏ´Â waferÀÇ back polishing¿ë colloidal silica slurry·Î particle size´Â 30~40nm ¹üÀ§ÀÌ´Ù.. |
Slurry for Back Polishing |
Á¦Ç°¸í: JINSOL BPS-215 |
Ãʼø¼ö·Î 20¹è Èñ¼®ÇÏ¿© ¿¬¸¶ °øÁ¤¿¡ °ø±ÞÇϸç, ¿¬¸¶°úÁ¤¿¡¼ °ÇÁ¶µÇ¾î °ø±Þ¶óÀÎÀÌ ¸·È÷°Å³ª colloidal silicaÀÇ particleÀÌ ºñ»êµÇÁö ¾Ê´Â´Ù. |
Ç× ¸ñ |
±Ô °Ý |
½Ã Çè ¹æ ¹ý |
|
ÁÖ¼ººÐ |
Colloidal Silica |
|
|
¿Ü °ü |
Milky White Liquid |
À°¾È°Ë»ç |
|
pH (at 20¡É) |
11.0~12.0 |
pH meter Orion 520A |
|
ºñÁß (at 20¡É) |
1.09~1.12 |
Hydrometer Fisher Scientific |
|
Á¡µµ (cps at 20¡É) |
2~5 |
ÁÖ)1 |
|
Èñ¼®ºñ |
20 |
|
|
|
Áøº¸ |