웨이퍼 접착제

반도체용 실리콘 웨이퍼 또는 발광다이오드(LED)용 사파이어 웨이퍼는 Sawing후 표면이 거칠기 때문에 몇 단계의 연마과정을 거치는 후 공정 중에 웨이퍼를 일시적으로 고정하는데 사용하는 접착제로 실리콘 웨이퍼용은 수성 및 유성타입이 있으며 사파이어 웨이퍼용은 유성타입이 있다.

Adhesive for Wafer

SPA-140은 사파이어 웨이퍼용 접착제로 Lapping, Annealing 공정 후 Wafer Back Side에 접착제를 Spin 코팅하고 건조한 다음 알루미나 Plate (Block)위에 올려놓고 80℃열로 접착하고 1차 Diamond Slurry Polishing, 2차 Colloidal Silica Polishing 공정까지 Wafer가 알루미나 Plate로 부터 떨어지지 않아야 되며 Polishing 완료 후 100 ~ 120 ℃에서 Wafer의 탈착이 용이하여야 한다.          

(주) 진보

신제품, 수입대체품 개발 프로젝트

제품명: SPA-140

진   보: 054-336-3578    Fax: 054-336-3579   E-mail: jinbo@jbict.com

연구소: 010-9284-3578   E-mail: ict@jbict.com

주)¹: Brookfiled Viscometer (DV-Ⅱ+Pro, Spindle No. 2, 20rpm)